- Код статьи
- S30345731S1028096025040048-1
- DOI
- 10.7868/S3034573125040048
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том / Номер выпуска 4
- Страницы
- 28-36
- Аннотация
- В работе предложен прибор для определения контура видимой части оптических элементов (контурограф), предназначенный для точного соотнесения координат видимой области оптической детали с ее физическими габаритами. Разработанный прибор обеспечивает определение координат обрабатываемой поверхности с точностью до 2.5 мкм, что является необходимым для проведения высокоточной ионно-пучковой обработки. Контурограф способен прописывать контуры объектов произвольной формы, включая криволинейные, а также контуры объектов, ориентированных под произвольным углом относительно линейных моторизированных трансляторов прибора. Высокая точность определения положения обрабатываемой поверхности непосредственно влияет на качество ионно-пучковой обработки, что позволяет значительно улучшить характеристики оптического элемента и, как следствие, оптической системы в целом. В ходе проведенной работы контурограф был успешно применен при изготовлении подложки для элемента двухзеркального монохроматора для станции 1-1 “Микрофокус” строящегося синхротрона IV поколения “СКИФ” (Новосибирск, Россия), что демонстрирует его практическую значимость и эффективность. Благодаря использованию контурографа удалось получить оптическую поверхность с требуемыми характеристиками, среднеквадратическое отклонение формы поверхности от требуемой плоскости было снижено в 25 раз - с исходных 25.7 нм до 1.0 нм.
- Ключевые слова
- контурограф ионно-пучковая коррекция рентгеновская оптика высокоточная юстировка зеркальный монохроматор
- Дата публикации
- 26.02.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 51
Библиография
- 1. Hoffman C., Giallorenzi T.G., Slater L.B. // Appl. Opt. 2015. V. 54. N. 31. P. F268. https://www.doi.org/10.1364/AO.54.00F268
- 2. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я., Лучин В.И., Нечай А.Н., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Торопов М.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Щербаков А.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2017. № 1. С. 5. https://www.doi.org/10.7868/s0207352817010048
- 3. Wagner Ch., Harned N. // Nature Photon. 2010. V. 4. N. 1. P. 24. https://www.doi.org/10.1038/nphoton.2009.251
- 4. Born M., Wolf E. // Principles of Optics (Cambridge University). 1999. Sec. 9.3. P. 528.
- 5. Chkhalo N.I., Kaskov I.A., Malyshev I.V., Mikhaylenko M.S., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Zabrodin I.G. // Precis. Eng. 2017. V. 48. P. 338. https://www.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004
- 6. Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. // Proc. SPIE. 1988. V. 966. P. 74. https://www.doi.org/10.1117/12.948051
- 7. Weiser M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2009. V. 267. № 8-9. P. 1390. https://www.doi.org/10.1016/j.nimb.2009.01.051
- 8. Wilson S.R., McNeil JR. // Proc. SPIE. 1987. V. 818. P. 320. https://www.doi.org/10.1117/12.978903
- 9. Mikhailenko M.S., Pestov A.E., Chkhalo N.I., Goncharov L.A., Chernyshev A.K., Zabrodin I.G., Kaskov I.A., Krainov P.V., Astakhov D.I., Medvedev V.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2021. V. 1010. P. 165554. https://www.doi.org/10.1016/j.nima.2021.165554
- 10. Lu Y., Xie X., Zhou L., Dai Z., Chen G. // Appl. Opt. 2017. V. 56. № 2. P. 260. https://www.doi.org/10.1364/AO.56.000260
- 11. Bauer J., Ulitschka M., Pietag F., Arnold T. // J. Astron. Telesc. Instrum. Syst. 2018. V. 4. № 4. P. 046003. https://www.doi.org/10.1117/1.JATIS.4.4.046003
- 12. Petrakov E.V., Glushkov E.I., Chernyshev A.K., Chkhalo N.I. // Opt. Eng. 2024. V. 63. № 11. P. 114104. https://doi.org/10.1117/1.OE.63.11.114104
- 13. Chernyshev A., Chkhalo N., Malyshev I., Mikhailenko M., Pestov A., Pleshkov R., Smertin R., Svechnikov M., Toropov M. // Precis. Eng. 2021. V. 69. P. 29. https://www.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2021.01.006
- 14. Xie L., Tian Y., Shi F., Guo S., Zhou G. // J. Mater. Process. Technol. 2024. V. 327. P. 118341. https://www.doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2024.118341
- 15. Антюшин Е.С., Ахсахалян А.А., Зуев С.Ю., Лопатин А.Я., Малышев И.В., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Уласевич Б.А., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Соловьев А.А., Стародубцев М.В. // ЖТФ. 2022. Т. 92. № 8. С. 1202. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52784.80-22
- 16. Chkhalo N.I., Malyshev I.V., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Toropov M.N., Soloviev A.A. // Appl. Opt. 2016. V. 55. P. 619. https://www.doi.org/10.1364/AO.55.000619
- 17. Kuzin S., Bogachev S., Pertsov A., Loboda I., Chervinsky V., Chkhalo N., Lopatin A., Malyshev I., Pestov A., Pleshkov R., Polkovnikov V., Toropov M., Tsybin N., Zuev S. // Appl. Opt. 2023. V. 62. P. 8462. https://www.doi.org/10.1364/AO.501437
- 18. Артюхов А.И., Морозов С.С., Петрова Д.В., Чхало Н.И., Шапошников Р.А. // ЖТФ. 2024. Т. 94. № 8. С. 1295. https://www.doi.org/10.61011/JTF.2024.08.58557.165-24
- 19. Apache NetBeans (2024) The Apache Software Foundation. https://netbeans.apache.org/front/main/index.html
- 20. Java programming language (2024) Oracle Corporation, USA. https://www.oracle.com/java/
- 21. Swing Package (2024) Oracle Corporation, USA. https://docs.oracle.com/en/java/javase/17/docs/api/java.desktop/javax/swing/package-summary.html
- 22. Glushkov E.I., Malyshev I.V., Petrakov E.V., Chkhalo N.I., Khomyakov Yu.V., Rakshun Ya.V., Chernov V.A., Dolbnya I.P. // J. Surf. Invest: X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2023. V. 17. № 1. P. 233. https://www.doi.org/10.1134/S1027451023070133
- 23. Chernov V.A., Bataev I.A., Rakshun Y.V., Khomyakov Y.V., Gorbachev M.V., Trebushinin A.E., Chkhalo N.I., Krasnorutskiy D.A., Naumkin V.S., Sklyarov A.N., Mezentsev N.A., Korsunsky A.M., Dolbnya I.P. // Rev. Sci. Instrum. 2023. V. 94 P. 013305. https://www.doi.org/10.1063/5.0103481
- 24. Забродин И.Г., Зорина М.В., Каськов И.А., Малышев И.В., Михайленко М.С., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Чернышев А.К., Чхало Н.И. // ЖТФ. 2020. Т. 90. № 11. С. 1922. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49985.112-20
