- Код статьи
- S30345731S1028096025030111-1
- DOI
- 10.7868/S3034573125030111
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том / Номер выпуска 3
- Страницы
- 69-74
- Аннотация
- Проведен расчет энергетических спектров и средних энергий распыленных частиц для ряда аморфных мишеней (Si, Ti, Ni, V, Nb), бомбардируемых ионами Ar с энергий 1 кэВ. В расчетах использованы программы компьютерного моделирования OKSANA и SRIM-2013. Показано, что для мишеней, атомы которых тяжелее падающих ионов, при расчетах с помощью программы SRIM оказывается переоценен вклад в распыление быстрых атомов отдачи и сильно завышена средняя энергия распыленных частиц. Это особенно заметно в результатах вычислений с использованием поверхностной энергии связи, найденной путем достижения согласия между расчетными коэффициентами распыления и экспериментальными. Проведено сравнение результатов моделирования с аналитическими оценками средней энергии распыленных атомов, выполненными на основе линейной теории распыления. Показано, что во всех рассмотренных случаях эти оценки также сильно завышены, поскольку в них не учтена деградация каскадов соударений при низких энергиях бомбардировки. Отмечено хорошее согласие результатов моделирования с использованием программ OKSANA, TRIM.SP и ACAT.
- Ключевые слова
- ионная бомбардировка распыление энергетические спектры и средние энергии распыленных атомов компьютерное моделирование
- Дата публикации
- 15.11.2024
- Год выхода
- 2024
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 39
Библиография
- 1. Распыление под действием бомбардировки частицами. III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике. / Ред. Бериш Р., Виттмак. К. М.: Мир. 1998. 551 с.
- 2. Sputtering by Particle Bombardment. Experiments and Computer Calculations from Threshold to MeV Energies. / Ed. Behrisch R., Eckstein W. Springer, Berlin, 2007. 459 р.
- 3. Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2010. V. 268. P. 1818. https://www.doi.org/10.1016/j.nimb.2010.02.091.
- 4. Hofsäss H., Zhang K., Mutzke A. // Appl. Surf. Sci. 2014. V. 310. P. 134. https://www.doi.org/10.1016/j.apsusc.2014.03.152
- 5. Shulga V.I. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 439. P. 456. https://www.doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.01.039
- 6. Mahne N., Čekada M., Panjan M. // Coatings. 2022. V. 12. P. 1541. https://www.doi.org/10.3390/coatings12101541
- 7. Mahne N., Čekada M., Panjan M. // Coatings. 2023. V. 13. P. 1448. https://www.doi.org/10.3390/coatings13081448
- 8. Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела. М.: Мир. 1995. 319 с.
- 9. Shulga V.I., Eckstein W. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1998. V. 145. P. 492. https://www.doi.org/10.1016/S0168-583X (98)00626-9
- 10. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids, Vol. I. Pergamon, New York, 1985.
- 11. Oen O.S., Robinson M.T. // Nucl. Instrum. Methods. 1976. V. 132. P. 647. https://www.doi.org/10.1016/0029-554X (76)90806-5
- 12. Lindhard J., Scharff M. // Phys. Rev. 1961. V. 124. P. 128. https://www.doi.org/10.1103/PhysRev.194.128
- 13. Шульга В.И. // ЖТФ. 2023. Т. 93. С. 1401. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2023.10.56276.147-23
- 14. Sigmund P. Sputtering by ion bombardment: theoretical concepts. // Sputtering by Particle Bombardment I. Physical Sputtering of Single-Element Solids. / Ed. Behrisch R. Springer, Berlin. 1981. P. 9.
- 15. Thompson M.W. // Philos. Mag. 1968. V. 18. P. 377. https://www.doi.org/10.1080/14786436808227358
- 16. Held J., Hecimovic A., von Keudell A., Schulz-von der Gathen V. // Plasma Sources Sci. Technol. 2018. V. 27. P. 105012. https://www.doi.org/10.1088/1361-6595/aae236
- 17. Eckstein W. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1986. V. 18. P. 344. https://www.doi.org/10.1016/S0168-583X (86)80056-8
- 18. Dembowski J., Oechsner H., Yamamura Y., Urbassek M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1986. V. 18. P. 464. https://www.doi.org/10.1016/S0168-583X (86)80072-6
- 19. Lindsey S., Hobler G. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2013. V. 303. P. 142. https://www.doi.org/10.1016/j.nimb.2012.12.087
- 20. Brizzolara R.A., Cooper C.B., Olson T.K. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1988. V. 35. P. 36. https://www.doi.org/10.1016/0168-583X (88)90095-x
- 21. Mousel T., Eckstein W., Gnaser H. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 152. P. 36. https://www.doi.org/10.1016/s0168-583X (98)00976-8
- 22. Shulga V.I. // Vacuum. 2024. V. 230. P. 113644. https//www.doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113644
