- PII
- S30345731S1028096025030039-1
- DOI
- 10.7868/S3034573125030039
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume / Issue number 3
- Pages
- 17-22
- Abstract
- Using a modern complete molecular dynamics model of single crystal sputtering taking into account ion incidence on the surface, the mechanisms of formation of the polar and azimuthal angle distribution of atoms sputtered from the surface of the (001) Ni face by Ar ions with an energy of 200 eV are studied. It is shown that the sputtered atoms, over focused by the azimuthal angle, eject only near the directions corresponding to the directions to the centers of lenses of two atoms in the surface plane neighboring to the ejecting atom. It is found that in the polar angular distribution of sputtered atoms with an energy of 2.5±0.1 eV in the range of the azimuthal angle of 87°±1.5°, close to the center of the lens, three maxima formed by atoms with significantly different mechanisms of emission are observed. It is concluded that the formation of these maxima occurs only due to the surface mechanism of single crystal sputtering.
- Keywords
- распыление монокристаллов распыленные атомы перефокусированные атомы поверхностный механизм распыления метод молекулярной динамики
- Date of publication
- 12.01.2025
- Year of publication
- 2025
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 45
References
- 1. Михайленко М.С., Пестов А.Е., Зорина М.В., Чернышев А.К., Чхало Н.И., Шевчук И.Э. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 12. С. 25. https://doi.org/10.31857/S1028096023120154
- 2. Андрианова Н.Н., Борисов А.М., Машкова Е.С., Овчинников М.А., Суминов И.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2023. № 4. С. 10. https://doi.org/10.31857/S1028096023040027
- 3. Лядов Н.М., Базаров В.В., Вахитов И.Р., Гумаров А.И., Ибрагимов Ш.З., Кузина Д.М., Файзрахманов И.А., Хайбуллин Р.И., Шустов В.А. // Физика твердого тела. 2021. Т. 63. № 10. С. 1687. https://doi.org/10.21883/FTT.2021.10.51424.117
- 4. Хисамов Р.Х., Тимиряев Р.Р., Сафаров И.М., Мулюков Р.Р. // Письма о материалах. 2020. Т. 10. № 2. С. 223. https://doi.org/10.22226/2410-3535-2020-2-223-226
- 5. Борисов А.М., Машкова Е.С., Овчинников М.А., Хисамов Р.Х., Мулюков Р.Р. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2022. № 3. С. 71. https://doi.org/10.31857/S1028096022030062
- 6. Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. V. 184. № 2. P. 383. https://doi.org/10.1103/PhysRev.184.383
- 7. Самойлов В.Н. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1990. Т. 54. № 7. С. 1283.
- 8. Мусин А.И., Самойлов В.Н. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2024. № 6. С. 20.
- 9. Kornich G.V., Betz G. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1998. V. 143. № 4. P. 455. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (98)00410-8
- 10. Kornich G.V., Betz G., Bazhin A.I. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. № 1-4. P. 383. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (99)00218-9
- 11. Ackland G.J., Tichy G., Vitek V., Finnis M.W. // Phil. Mag. A. 1987. V. 56. № 6. P. 735. https://doi.org/10.1080/01418618708204485
- 12. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. // Charge States and Dynamic Screening of Swift Ions in Solids. Proc. of the U.S.-Japan Seminar on Charged-Particle Penetration Phenomena, 25-29 January 1982, Honolulu, Hawaii, the U.S.A. The Oak Ridge National Laboratory Publ., Oak Ridge, Tennessee, U.S.A, 1983. P. 88.
- 13. Gao F., Bacon D.J., Ackland G.J. // Phil. Mag. A. 1993. V. 67. № 2. P. 275. https://doi.org/10.1080/01418619308207158
- 14. Самойлов В.Н., Мусин А.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 2018. Т. 82. № 2. С. 171. https://doi.org/10.7868/S0367676518020084
- 15. Самойлов В.Н., Мусин А.И., Ананьева Н.Г. // Изв. РАН. Сер. физ. 2016. Т. 80. № 2. С. 122. https://doi.org/10.7868/S0367676516020289
- 16. Eltekov V.A., Samoylov V.N., Yurasova V.E., Motaweh H.A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1986. V. 13. № 1-3. P. 443. https://doi.org/10.1016/0168-583X (86)90544-6
- 17. Wehner G.K. // J. Appl. Phys. 1955. V. 26. № 8. P. 1056. https://doi.org/10.1063/1.1722136
- 18. Юрасова В.Е., Плешивцев Н.В., Орфанов И.В. // ЖЭТФ. 1959. Т. 37. Вып. 4. С. 966.
- 19. Rübesame D., Niedrig H. // Radiat. Eff. Def. Solids. 1996. V. 138. № 1-2. P. 49. https://doi.org/10.1080/10420159608211508
- 20. Samoilov V.N., Tatur A.E., Kovaleva N.A., Kozhanov A.E. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 153. № 1-4. P. 319. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (99)00216-5
- 21. Шпиньков В.И., Самойлов В.Н. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2009. № 3. С. 73.
- 22. Voevodin Vl.V., Antonov A.S., Nikitenko D.A., Shvets P.A., Sobolev S.I., Sidorov I.Yu., Stefanov K.S., Voevodin Vad.V., Zhumatiy S.A. // Supercomputing Frontiers and Innovations. 2019. V. 6. № 2. P. 4. https://doi.org/10.14529/jsfi190201
