- Код статьи
- S3034573125090138-1
- DOI
- 10.7868/S3034573125090138
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том / Номер выпуска 9
- Страницы
- 101-107
- Аннотация
- Работа направлена на решение задачи повышения точности тонкопленочных резисторов. Основной причиной возникновения данной проблемы является неконтролируемое изменение сопротивления резисторов с течением времени и при воздействии температуры, что затрудняет достижение лучшей стабильности сопротивления. Для решения предложено применение компенсационных слоев с различными по знаку температурными коэффициентами сопротивления. Разработано конструкторско-технологическое решение для сверхпрецизионных многослойных и комбинированных тонкопленочных резистивных структур с температурной самокомпенсацией из металлосилицидных сплавов и сплавов на основе нихрома, а также из кермета К-30С и никеля соответственно. Выбор комбинирующих пленок из сплава Х20Н75Ю и керметов К-30С обусловлен подбором соотношения толщин слоев. Разработаны структура и топология комбинированного и многослойного тонкопленочных резисторов. Разработан технологический процесс изготовления тонкопленочных чип-резисторов, отработаны режимы напыления и получения топологии посредством фотолитографии с последующей температурной стабилизацией. Проведены функциональные испытания опытной партии образцов, для которой дополнительно разработана технологическая оснастка. Разработанная технология позволяет достичь температурного коэффициента сопротивления ±5 × 10 — 1/°С в диапазоне рабочих температур от –60 до +125°С. Научная новизна работы заключается в возможности комбинирования тонких пленок Х20Н75Ю/К-30С для многослойных и К-30С/Ni для комбинированных резистивных структур в предложенном исполнении с целью достижения температурной компенсации и улучшения показателей стабильности.
- Ключевые слова
- температурная компенсация тонкопленочные резисторы температурный коэффициент сопротивления сопротивление многослойные и комбинированные резистивные структуры сверхпрецизионные резисторы
- Дата публикации
- 17.02.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 1
Библиография
- 1. Лучинин В.В., Мальцев П.П. // Нано- и микросистемная техника. 2021. Т. 23. № 1. С. 3.
- 2. Мараканов В.В., Недорезов В.Г., Кузнецов А.В. Резистивные материалы на основе никеля для прецизионных резисторов // Электронная промышленность. 1988. Вып. 3. С. 62.
- 3. Доросинский А.Ю., Прокофьев О.В., Семочкина И.Ю. // Надежность и качество сложных систем. 2021. № 4. С. 98. https://doi.org/10.21685/2307-4205-2021-4-11
- 4. Дубровина Н.Н., Костин Г.Ф. // Вестн. Концерна ВКО “Алмаз–Антей”. 2020. № 4. С. 34. https://doi.org/10.38013/2542-0542-2020-4-34-40
- 5. Родионов Ю.А. Котов Д.А., Плебанович В.И., Ковальчук Н.С. Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации: учеб.-метод. пособие. Минск: БГУИР, 2017. 71 с.
- 6. Shirani A., Joy T., Rogov A., Lin M., Yerokhin A., Mogonye J.-E., Korenyi-Both A., Aouadi S.M., Voevodin A.A., Berman D. // Surf. Coat. Technol. 2020. V. 397. P. 126016. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126016
- 7. Лучкин А.Г., Лучкин Г.С. // Вестн. Казан. технолог. ун-та. 2012. Т. 15. С. 208.
- 8. Piganov M.N., Novomeyeisky D.N. // J. Phys.: Conf. Ser. 2018. V. 1096 P. 012183. https://doi.org/10.1088/1742-6596/1096/1/012183
- 9. Лугин А.Н. Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов. Пенза: Информационно-издательский центр ПензГУ, 2009. 287 с.
- 10. Антонов Ю.Н. Индуктивное моделирование лазерной подгонки пленочных резисторов. Ульяновск: УлГТУ, 2009. 215 с.
- 11. Zhao Y., Liu J., Ying Y., Chen H., Wang W., Zhang S., Hai Z., Sun D. // J. Mater. Chem. C. 2024. V. 12. P. 12491. https://doi.org/10.1039/D4TC01645A
- 12. Gurin S., Pecherskaya E., Novichkov M., Safronova O. // J. Phys.: Conf. Ser. 2022. V. 2373. P. 032028. https://doi.org/10.1088/1742-6596/2373/3/032028
- 13. Температурные измерения. Справочник / Ред. Геращенко О.А. и др. Киев: Наукова думка, 1989. 704 с.
- 14. Недорезов В.Г. Феноменологическая модель температурной стабильности металлофольговых резисторов с учетом влияния сопротивления выводов. // Тр. Междунар. симп. “Надежность и качество”. Пенза, 23–31 мая, 2011. С. 75.
- 15. Гурин С.А. Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации: Дис. … канд. тех. наук: 05.27.01. Пенза: ПГУ, 2016. 157 с.
- 16. Васильев В.А., Юлоськов Р.В. // Современная техника и технологии. 2017. № 5. https://technology.snauka.ru/2017/05/13452
- 17. Baranova T.A., Chubenko A.K., Mamaev A.I., Mamaeva V.A., Kovalskaya Ya.B. // IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 2016. V. 156. P. 012013. https://doi.org/10.1088/1757-899X/156/1/012013
- 18. Мамаев А.И., Долгова Ю.Н., Белецкая Е.Ю., Мамаева В.А., Баранова Т.А. // Изв. вузов. Физика. 2020. Т. 63. № 9 (753). С. 141. https://doi.org/10.17223/00213411/63/9/141
- 19. Golubkov P.E., Pecherskaya E.A., Karpanin O.V., Shepeleva Y.V., Zinchenko T.O., Artamonov D.V. // J. Phys.: Conf. Ser. 2017. V. 917. P. 092021. https://doi.org/10.1088/1742-6596/917/9/092021
