Статьи автора

ИНИЦИИРОВАНИЕ РАЗВИТИЯ ПЕРИОДИЧЕСКОГО РЕЛЬЕФА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОМ ОБЛУЧЕНИИ

Номер выпуска 3 от 20.02.2025

В сообщении представлены результаты изучения процесса зарождения периодического рельефа на поверхности кремния, облученного фокусированным пучком ионов галлия с энергией 30 кэВ при углах падения ионов θ=30°, 40° и 50°. Показано, что факторами, инициирующими зарождение периодического рельефа, являются: преципитаты галлия в приповерхностном слое кремния (θ=30°), топографическая неоднородность в виде лунки на границе дна и фронтальной стенки кратера распыления (θ=40° и 50°).

38 0