Статьи автора

ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ СПЕКТРЫ АТОМОВ, РАСПЫЛЕННЫХ ИОНАМИ НИЗКИХ ЭНЕРГИЙ: КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Номер выпуска 3 от 15.11.2024

Проведен расчет энергетических спектров и средних энергий распыленных частиц для ряда аморфных мишеней (Si, Ti, Ni, V, Nb), бомбардируемых ионами Ar с энергий 1 кэВ. В расчетах использованы программы компьютерного моделирования OKSANA и SRIM-2013. Показано, что для мишеней, атомы которых тяжелее падающих ионов, при расчетах с помощью программы SRIM оказывается переоценен вклад в распыление быстрых атомов отдачи и сильно завышена средняя энергия распыленных частиц. Это особенно заметно в результатах вычислений с использованием поверхностной энергии связи, найденной путем достижения согласия между расчетными коэффициентами распыления и экспериментальными. Проведено сравнение результатов моделирования с аналитическими оценками средней энергии распыленных атомов, выполненными на основе линейной теории распыления. Показано, что во всех рассмотренных случаях эти оценки также сильно завышены, поскольку в них не учтена деградация каскадов соударений при низких энергиях бомбардировки. Отмечено хорошее согласие результатов моделирования с использованием программ OKSANA, TRIM.SP и ACAT.

40 0