Рассмотрена технология изготовления растяжимого электрода на основе полидиметилсилоксана (ПДМС) и одностенных углеродных нанотрубок. Электроды были созданы методом оптической литографии на нанотрубках с использованием жертвенного слоя. Рисунок формировали сухим плазменным травлением. Для создания растяжимого устройства массив нитевидных микрокристаллов InGaN/GaN был инкапсулирован в ПДМС методом гравитационной накрутки и отделен от ростовой подложки. Проведено тестирование устройства на растяжение и измерены вольтамперные характеристики, а также исследована стабильность работы устройства при циклических нагрузках.
Индексирование
Scopus
Crossref
Высшая аттестационная комиссия
При Министерстве образования и науки Российской Федерации