RAS PhysicsПоверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования Journal of Surface Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
Рассмотрена технология изготовления растяжимого электрода на основе полидиметилсилоксана (ПДМС) и одностенных углеродных нанотрубок. Электроды были созданы методом оптической литографии на нанотрубках с использованием жертвенного слоя. Рисунок формировали сухим плазменным травлением. Для создания растяжимого устройства массив нитевидных микрокристаллов InGaN/GaN был инкапсулирован в ПДМС методом гравитационной накрутки и отделен от ростовой подложки. Проведено тестирование устройства на растяжение и измерены вольтамперные характеристики, а также исследована стабильность работы устройства при циклических нагрузках.
Индексирование
Scopus
Crossref
Higher Attestation Commission
At the Ministry of Education and Science of the Russian Federation